持有阿斯麥股票的中國基金
❶ 中芯國際與阿斯麥簽訂購買單，說明我們的晶元技術也能被世界承認了嗎
中芯國際跟阿斯麥簽訂購買單，這並不能說明我們的晶元技術被世界承認了！理由如下：
第一：中芯國際跟阿斯麥簽訂購買單是我們向別人購買東西中芯國際這次跟阿斯麥的合作其實就是我們向ASML公司購買產品而已。這跟我們的晶元技術被世界承認沒有任何的關系，因為整件事情，我們都是購買方，也沒有展現任何關於我們晶元技術的地方。所以說這只是一次簡單的交易，只能說明我們確實還是無法生產和製造光刻機，我們的晶元依然被人卡住了脖子。
所以說這次中芯國際跟阿斯麥簽約，並不能代表中國晶元的水平，只能表示中國要製造晶元還是要依賴ASML公司所生產的光刻機，這是中國企業暫時繞不開的。所以說中國晶元還有很長的路要走，在短時間內別說超越了，就算是要趕上現在的國際晶元水平，都是很有難度的。如果有一天中國晶元技術可以被承認，也就代表我們攻克了晶元技術。
❷ 被反噬！荷蘭光刻機霸主阿斯麥，為何封神之路靠美國幫忙圍堵技術
阿斯麥攤牌了，改口說想跟中國合作！這是怎麼回事呢？
3月28日，中凱阿斯麥CEO公開表示，不賣光刻機給中國，不是阿斯麥自己決定的。
在光刻機領域，阿斯麥是當之無愧的一哥，訂單給誰不給誰，不是它說了算，還能是誰決定呢？
這個站在產業鏈頂端的大佬，在美國面前也是小弟。
一家荷蘭企業，為什麼要聽美國的？
上世紀80年代，在光刻機市場，日本尼康一家獨大。彼時，阿斯麥的市場份額不足10%。但不管是尼康還是阿阿斯麥，光刻機的光源波長都卡在193nm，阿斯麥砸了幾十億美元沒能突破。
那為什麼它能後來居上，拿下高達89%的全球市場市佔率呢？
因為技術的紅利，但它不是靠自己，而是跟美國有關。
這是怎麼回事呢？
當時，晶元廠家——英特爾，自己也設有光刻機部門。1997年，英特爾也認識到了跨越193nm波長的困難，於是說服了美國正府，召集了數百名頂級科學家，組建了一個消培段「極紫外線」聯盟，還匯集了美國三大國家實驗室，僅用6年時間，將193nm突破縮短到135nm。誰能先拿到這個技術，誰就能徹底佔領光刻機市場。而阿斯麥是一個為了獲得市場，可以不顧一切的狠角色，在給美國許下了一大堆承諾後，最終拿到了技術，徹底封神。
那答應了美國什麼呢？
一是願意在美國建立工廠和研發中心，二是保證55%的核心零部件和原材料，從美國供應商那裡采購，三是接受美國定期審查。換句話說，阿斯麥自己根本沒有辦法獨立生產一台光刻機。另外，阿斯麥雖然申請專利多達14444項，但很多專利並不在它們自己手中，
但這還沒結束，光刻機需要投入的資金很大，需要源源不斷的資金輸血。而阿斯麥為了獲得研發資金，不惜稀釋自己的股權，大舉引入英特爾等美國企業的投資，也就喪失了對公司的一部分控制權。
所以對於客戶是誰這件事，阿斯麥才說沒有決拿譽定權，如今積攢了二十多年的所謂優勢，根本無處可用。
雖然我們光刻機國產化在技術上還要不斷突破和完善，但至少需要的組件和服務，我們可以自己獨立完成。核心技術很重要，但更重要的是獨立自主的技術。
❸ 光刻機股票龍頭股有哪些
1、大族激光（002008）：2020年6月17日公司在互動平台稱：公司在研光刻機項目解析度3- 5μm，主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用，今年有望實現小批量銷售。 2、張江高科（600895）：公司在互動平台表示，上海張江浩成創業投資有限公司2016年投資了 上海微電子裝備有限公司22,345萬元，族耐投資比例為10.779%。 3、晶方科技（603005）：公司在互動平台表示，荷蘭光刻機製造商ASML為公司參與並購的荷蘭 Anteryon公司的最主要客戶之一。Anteryon為全球同時擁有混合鏡頭、晶圓級微型光學器件工藝 技術設計、特性材料及量產能力的技術創新公司，其產品可廣泛應用於半導體精密設備、工業自 動化、汽車、安防、3D感測器為代表的消費類電子等應用領域。 4、賽微電子（300456）：公司在互動易平台披露：公司一直為全球光刻機巨頭廠商提供透鏡系 統MEMS部件的工藝開發與晶圓製造灶穗帆服務。ASML為公司商業合作夥伴。公司瑞典與北京分別擁有 數台光刻機；瑞典產線2017-2019年產能利用率一直保持在80%以上的高水平 5、萬業企業（600641）：全資子公司凱世通採取「領先一步」的策略、採用有國際競爭力的設 計理念，著力研製16納米及以下製程的FinFET集成電路離子注入機，並針對研製低能大束流離子 注入機所需要解決的關鍵技術和技術難點，建立起相應的研發平台、相關核心關鍵技術及工藝的 研究參數資料庫和性能檢測規范標准。2019年凱世通的低能大束流離子注入機遷機成功，順利進 入離子注入晶圓驗證階段。參股公司上海半導體裝備材料基金持有華卓精科2.08%股權。 6、上海新陽（300236）：公司在互動易平台表示，中芯國際是公司的主要客戶之一。2020年2 月，公司在互動易平台披露，公司KRF光刻機能支持96層3D NAND用光刻膠研究，及250nm、 130nm工藝製程邏輯電路用光刻膠研究。公司正在加快開發第三大核心技術——光刻技術，在集 成電路製造用ArF干法、KrF厚膜膠、I線等高端光刻膠領域已有重大突破。同時，積極布局半導體 矽片、半導體濕法工藝設備、平板液晶顯示用光刻膠等業務領域。 7、南大光電（300346）：超募資金投資」ArF光刻膠產品的開發與產業化」項目。 8、飛凱材料（300398）：公司從事PCB光刻膠專用化學品。 9、勝利精密（002426）：勝利精密計劃募資不超過20億元,投向光刻機產業化。 10、華特氣體（688268）：華特氣體是特種氣體龍頭企業。 11、福晶科技（002222）：公司是全球最大的LBO、BBO晶體供應商，也是全球重要的Nd： YVO4晶體供應商，控股子公司青島海泰光電技術有限公司是國內最大的KTP晶體生產商。公司產 品已被全球各大激光器公司廣泛採用，公司與客戶建立了良好的合作關系，在客戶中享有良好的 聲譽，並樹立了良好的品牌形象。公司品牌「CASTECH」已在全球激光界樹立了高技術、高品 質、優服務的市場形象，核心產品被國際業界譽為「中國牌晶體」。 12、智光電氣（002169）：粵芯采購的是荷蘭ASML阿斯麥公司的光刻機。智光電氣間接持有粵 芯半導體股權。 13、容大感光（300576）：公司為拓展業務范圍及產品應用領域,投資設立控股子公司上海芯刻微 材料技術有限責任公司進行193nm干法光刻膠研發及產業化項目。 14、強力新材（300429）：公司從事PCB刻膠專用化學品。 15、晶瑞股份（300655）：該公司光刻膠產品已經通過中芯隱雹國際上線測試並取得訂單。 16、光華科技（002741）：針對面板行業對光阻材料的巨大需求，公司引入韓國光阻材料供應商 SMS、KISCO、DKC，國內部分客戶已進入材料打樣測試認證階段，下一步公司將配合客戶逐步 實現量產。 17、藍英裝備（300293）公司在互動平台稱：公司瑞士子公司UCMAG主要為光學和精密儀器行 業提供清洗設備。對於精密光學、醫學工程、精密機械以及PVD、CVD塗層前清洗等典型的清潔 度要求最高的應用領域，公司在精密清洗業務板塊的代表產品UCM系統可提供全套個性化的設備 及解決方案。憑借行業領先的技術實力，UCMAG為ASML（荷蘭光刻機製造商阿斯麥公司）及其 供應商提供極紫外光刻機（EUV）的光學系統相關關鍵部件的清洗設備。 18、江化微（603078）：公司孫公司無錫澄泓生產的產品主要是光刻膠剝離液，目前主要用在液 晶面板領域。 19、高盟新材（300200）：公司主營業務為超凈高純試劑、光刻膠配套試劑等濕電子化學品的研 發、生產和銷售。 20、奧普光電（002338）：公司從事的主要業務為光電測控儀器設備、光學材料和光柵編碼器等 產品的研發、生產與銷售。2020年5月31日互動平台訊，公司大股東長春光機所正在研發更高水 平的光刻機曝光系統。 21、西隴科學（002584）：公司是一家專業從事微電子化學品的產品研發、生產和銷售的高新技 術企業，主導產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎化工材料等。 相關推薦 22、同益股份（300538）：2019年3月13日公司互動平台披露博硯電子為寶通辰韜投資,該公司 是一家研發、生產光阻的廠家,主要產品為彩色濾光片用光阻黑色矩陣光阻、感光間隙材料,產品廣 泛適用於液晶顯示屏、印刷電路和集成電路以及印刷製版等。 23、廣信材料（300537）：2018年公司主營業務產品仍以光刻膠專用化學品為主,分為光刻膠用 光引發劑和光刻膠樹脂兩大系列。
❹ 與阿斯麥合作的上市公司
中國石油化工股份有限公司、中國石油天然氣股份有限公司等。根據查詢阿銀睜斯麥公司官網信息得模衡知，與阿斯麥合作的上市公司有三家，分別是中國石油化工股份有限公司、中國石油天然氣股份有限公司和中國石油化工集團股份有限公司。阿斯旦搏做麥公司是一家全球性的能源和化工公司，在中國投資的上市公司主要集中在石油和化工行業，主要投資於中國石油化工股份有限公司、中國石油天然氣股份有限公司和中國石油化工集團股份有限公司。
❺ 阿斯麥警告：如禁止其向中國出售晶元設備後果嚴重，會有哪些後果
阿斯麥警告：如禁止其向中國出售晶元設備後果嚴重，後果是首先是中國會加大對於晶元的研發規模，其次是中國會吸收更多的優秀晶元人才加入長期的合作，再者就是中國會加強與一些外部優秀晶元企業的合作，另外就是中國會通過自主研發的方式加速晶元的科研成果。需要從以下四方面來闡述分析阿斯麥警告：如禁止其向中國出售晶元設備後果嚴重。
一、中國會加大對於晶元的研發規模
首先是中國會加大對於晶元的研發規模 ，中國之所以需要加攔螞大對與晶元的生產規模就是想利用現有的技術去滿足國內的一些汽車企業還有一些手機企業的需求，這樣子可以使得他們獲得一個長期的發展。
中國應該做到的注意事項：
應該加強對應的晶元研發。
❻ 納斯達克100指數基金，具體涵蓋哪100隻股票
1、全球最大半導體設備公司-阿斯麥控股ASML Holding NV (US)
2、游戲開發龍頭-動視暴雪(暴雪娛樂)Activision Blizzard Inc
3、跨國電腦軟體公司-奧多比軟體公司Adobe Systems Inc
4、美國超微半導體公司-超微半導體設備 Advanced Micro Devices Inc(高級微設備公司)
5、生物制葯公司-亞歷克森制葯Alexion Pharmaceuticals Inc
6、牙科醫療設備-艾利科技Align Technology Inc
7、美國科技龍頭Google的母公司Alphabet(A)公司Alphabet Inc - A
8、美國科技龍頭Google的母公司Alphabet(C)公司Alphabet Inc - C
9、全球電子商務及科技巨頭-亞馬遜Amazon.com Inc 全球最大電子商務公司+美國科技龍頭
10、美國航空集團(美航)American Airlines Group Inc
11、美國生物科技龍頭股-安進公司Amgen Inc
12、全球最大音頻放大器公司-亞德諾半導體技術Analog Devices Inc
13、美國科技龍頭、消費電子產品-蘋果公司：Apple Inc(AAPL)118
14、全球最大半導體設備商-應用材料公司Applied Materials Inc
15、軟體龍頭-歐特克Autodesk Inc
16、人力資源外包服務-自動數據處理公司(ADP)Automatic Data Processing Inc
17、中概股：中國搜索龍頭-網路Bai Inc - ADR
18、拜瑪林制葯[BMRN]BioMarin Pharmaceutical Inc
19、生物技術公司-百健艾迪Biogen Idec Inc
20、全球最大在線旅遊服務商-繽客網Booking Holdings Inc
21、半導體設備的供應商-博通公司Broadcom Inc
22、鐵路運輸服務-CSX運輸公司CSX Corp
23、全球最大電子設計自動化軟體公司-卡得斯設計Cadence Design Systems Inc
24、生物制葯龍頭-新基醫葯/賽爾基因 Celgene Corp
25、醫療信息技術供貨商-塞納公司Cerner Corp
26、美國第二大有線電視&寬頻提供商-特許通信公司Charter Communications Inc
27、網路安全公司-捷邦軟體技術Check Point Software Technologies Ltd
28、全球知名服裝租賃商-辛塔斯Cintas Corp
29、互聯網解決方案龍頭、電子--思科公司Cisco Systems Inc(CSCO)
30、軟體及解決方案公司-思傑系統Citrix Systems Inc
31、世界級的IT服務供應商-高知特信息技術Cognizant Technology Solutions Corp
32、全美最大有線電視&第二大互聯網服務提供商-康卡斯特電信Comcast Corp - Class A
33、美國最大會員制倉儲式量販店-好市多量販Costco Wholesale Corp
34、中國最大的在線旅遊公司-攜程國際Ctrip.com International Ltd – ADR
35、美國折扣零售巨頭-美元樹公司Dollar Tree Inc
36、全球第二大游戲開發商-藝電有限公司Electronic Arts Inc
37、全球知名在線旅遊網-億客行Expedia Group Inc
38、全球最大的社交網路-臉書Facebook Inc
39、螺紋緊固件公司-法思諾貿易Fastenal Co
40、金融服務解決方案公司-費哲金融服務公司Fiserv Inc
41、美國生物科技龍頭-吉利德科學公司Gilead Sciences Inc
42、世界第二大玩具公司-孩之寶公司Hasbro Inc
43、美國最大牙醫器材商-亨利香恩服務/漢瑞祥Henry Schein Inc
44、動物健康&水和牛奶質量檢測-愛德士生物科技IDEXX Laboratories Inc
45、世界第二的分子診斷公司-億明達Illumina Inc
46、艾滋病&抗癌葯公司-因塞特醫療Incyte Corp Ltd
47、全球最大半導體晶元製造商、微處理器-英特爾公司Intel Corp
48、美國最大理財軟體公司-財捷/直覺軟體公司Intuit Inc
49、財捷/直覺軟體公司-達芬奇手術機器人 Intuitive Surgical Inc
50、汽車運輸公司-JB亨
❼ asml是哪個國家的
荷蘭。
阿斯麥（ASML Holding N.V.）是在荷蘭費爾德霍芬的半導體設備製造商。公司同時在歐洲和美國NASDAQ上市。有從業員工28,000多名。
阿斯麥公司的主要產品是用於生產大規模集成電路的核心設備光刻機。在世界同類產品中有90％的市佔率，在14納米製程以下有100％的市佔率。
總部位於荷蘭埃因霍芬（Eindhoven），歐洲人均科研經費排名第二的高科技公司。
ASML在歐洲、亞洲及美國的50多個地區擁有9245名員工，其中固定員工7184，男女比例為9：1。
據Bloomberg數據，2018年全球五大半導體設備製造商分別為應用材料（AMAT）、阿斯麥（ASML）、東京威力科創（TEL）、科林研發（Lam Research）、科磊（KLA）。
現在市場上提供量產商用的光刻機廠商依照排名，首位阿斯麥、第二名尼康（Nikon）、以及佳能（Canon）共三家，根據2007年的統計數據，在中高端光刻機市場，阿斯麥公司約有60%的市場佔有率。
而最高端市場（immersion），阿斯麥公司目前約有90%的市場佔有率，在14納米節點以下更獲取100%市佔率，同業競爭對手已無力追趕。
TWINSCAN系列是目前世界上精度最高，生產效率最高，應用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數半導體生產廠商，都向ASML采購TWINSCAN機型，例如英特爾、三星、海力士、台積電、聯電、格羅方德及其它台灣十二英寸半導體廠。
除了目前致力於開發的TWINSCAN平台外，阿斯麥公司還在積極與IBM等半導體公司合作，繼續研發光刻技術，用於關鍵尺度在22納米甚至更低的集成電路製造。
歷史發展
2008年，阿斯麥公司已超過日商東京威力科創成為世界第二大半導體設備商。
2010年，以銷售額計算阿斯麥公司高端光刻機市佔率已達到將近90%。
2011年，阿斯麥公司已超過美商應用材料公司(Applied Materials, Inc)成為世界第一大半導體設備商。
2012年7月10日英特爾斥資41億美元收購荷蘭晶元設備製造商阿斯麥公司的15%股權，另出資10億美元，支持阿斯麥公司加快開發成本高昂的晶元製造科技。
2012年10月17日ASML Holding NV（ASML）與Cymer (CYMI)宣布簽訂合並協議，阿斯麥公司將以19.5億歐元收購Cymer所有在外流通股票，收購Cymer目的在於加速開發Extreme Ultraviolet半導體蝕微影技術。
❽ 全球最大對沖基金450億做空歐洲股市，主要涉及了哪些企業
全球最大的對沖基金橋水基金目前押注至少67億美元(約合450億元人民幣)做空歐洲股票。據報道，橋水基金對21家歐洲公司進行了押注，包括阿斯麥、道達爾、制葯商賽諾菲、法國巴黎銀行、施耐德電氣、拜耳和安聯，涉及從金融到能源等多個行業。如果它成功了，橋水公司將迎來輝煌時刻。在2018年至2020年期間，橋水兩次做空歐洲股票。其中，2018年約有220億美元被賣空，2020年約有140億美元。
消息人士表示，如果做空成功，2022年可能是橋水基金又一個輝煌的年份。其旗艦基金Pure Alpha2022年已上漲26.2%，這不是橋水第一次做空歐洲。2020年，它做空了包括ASML在內的多家歐洲知名公司，空頭倉總計140億美元。2018年，橋水基金還大量做空了一系列歐盟公司，規模一度接近220億美元。
❾ 光刻機霸主阿斯麥封神之路
芯 東西（ID：aichip001）文 | 董溫淑
現在，5nm製程晶元作為目前可量產的最先進晶元，將是頂級手機的標配，也是摩爾定律真正的捍衛者。年內將推出的華為Mate 40採用的麒麟1020晶元、蘋果iPhone 12搭載的A14仿生晶元不出意外，都會採用5nm製程。
不少證據正在證實這一點，3月份，有爆料稱台積電成功流片麒麟1020；4月份，台積電宣布為蘋果代工A14晶元；在近期的中美貿易摩擦中，台積電是否能按時向華為出貨Mate 40晶元也著實讓人捏了一把汗。這一連串事件之中，為兩大手機龍頭代工晶元的台積電成為關鍵角色，舉足之間關系著華為手機晶元供應的命運。
然而， 台積電能吃下蘋果、華為的5nm訂單，背後還少不了一家荷蘭廠商的存在 ：晶元製造要想突破10nm以下節點，必須要用到EUV（極紫外線）光刻技術，而 EUV光刻機只有荷蘭公司阿斯麥（ASML）能造 。不論是5nm量產賽道第一名台積電，還是第二名三星，想造出產品，就只能先乖乖向阿斯麥訂貨。
作為全球5nm產線不可或缺的狠角色，阿斯麥到底是一家什麼樣的公司？
我們不妨先理解「光刻」這項技術的重要性。如果把晶元比作刻版畫。晶元生產的過程就是在硅襯底這張「紙」上，先塗上一層名為光刻膠的「油墨」，再用光線作「筆」，在硅襯底上「拓」出需要的圖案，然後用化學物質做「刻刀」，把圖案雕刻出來。
其中，以光線為「筆」、拓印圖案這一步被稱為光刻。在晶元製造幾百道工序里，光刻是晶元生產中最重要的步驟之一。圖案線條的粗細程度直接影響後續的雕刻步驟。目前市場上主流的光刻技術是DUV（深紫外線）技術，最先進的則是EUV技術。
完成這一步需要用到的設備——光刻機，一台售價從數千萬美元高至過億美元。要知道，美國最先進的第五代戰機F-35閃電II式的售價還不到8000萬美元。
放眼全球，光刻機市場幾乎被3家廠商瓜分：荷蘭的阿斯麥（ASML）、日本的尼康（Nikon）和佳能（Canon）。
在這3家中，阿斯麥又是當之無愧的一哥。據中銀國際報告， 阿斯麥全球市場市佔率高達89% ！其餘兩家的份額分別是8%和3%，加起來僅有11%。 在EUV光刻機市場中，阿斯麥的市佔率則是100% 。
要指出的是，阿斯麥並非生來就含著金湯匙。阿斯麥成立於1984年，入局光刻機市場晚於尼康（1917年成立，1980年發售其首款半導體光刻機）和佳能（1937年成立，1970年推出日本首台半導體光刻機）。成立之初，阿斯麥只有31名員工，還曾面臨資金鏈斷裂的窘境。
36年間，這家幾近破產的小公司是怎樣成長為光刻機一哥的？又是如何在十多年裡占據第一寶座屹立不倒的？今天，智東西就來復盤這家荷蘭光刻機之星的逆襲之路。
更為重要的一點，在美國狙擊華為晶元供應的組合拳里，阿斯麥間接或直接地成為一顆關鍵棋子，美國人憑什麼限制阿斯麥的生意，背後又有怎樣的淵源？
在鬱金香國度荷蘭的南部，坐落著一個居民人數20餘萬的市鎮，艾恩德霍芬，阿斯麥（Advanced Semiconctor Material Lithography，直譯：先進半導體材料光刻技術）總部就位於此。
阿斯麥是一家採用「無工廠模式」的光刻設備生產商，主要產品就是光刻機，還提供服務於光刻系統的計量和檢測設備、管理系統等。
翻開全球晶元廠商的光刻機訂貨單，其中絕大多數都發給了阿斯麥。以2019年為例，阿斯麥共出貨229台光刻機，凈銷售額為118.2億歐元，凈利潤為25.2億歐元。相比之下，尼康出貨46台，佳能出貨84台。
▲阿斯麥、尼康、佳能出貨量對比
除了出貨量占優，阿斯麥（ASML）也代表著全球最頂尖的光刻技術。在阿斯麥2019年賣出的229台光刻機中，有26台是當今最高端的EUV（極紫外線）光刻機。而在EUV光刻市場，阿斯麥是唯一的玩家。
EUV光刻機採用13.5nm波長的光源，是突破10nm晶元製程節點必不可少的工具。也就是說，就算DUV（深紫外線）光刻機能從尼康、佳能那裡找到替代，但如果沒有阿斯麥的EUV光刻機，晶元巨頭台積電、三星、英特爾的5nm產線就無法投產。
時間邁進2020，光刻機市場三分的格局中，阿斯麥已穩居第一10多年。在「光刻機一哥」光環的背後，阿斯麥又有怎樣的故事？
智東西從技術路線選擇、先進技術攻關、資金支持、研發投入等方面入手，還原出這個故事真實、立體的脈絡。
羅馬不是一天建成的，阿斯麥的成功也絕非一蹴而就。今日風頭無兩的光刻機市場一哥背後，是一個卑微的開始和一段曲折的往事。
故事要從20世紀80年代講起，那時候距離摩爾定律被正式提出（1975年）不到10年，增加晶元晶體管數目還不是讓全球半導體學者擠破頭的課題。相應地，對光刻機光源波長的要求較低。當時的光刻機採用乾式微影技術，簡言之，光源發光，光線在塗有光刻膠的硅基底上「畫」就完了。
比如，1980年尼康推出的可商用步進式重復式光刻機（Stepper），光源波長為1微米。連晶元廠家英特爾也自己設了個光刻機部門，用買來的零件組裝光刻機。
通俗來說，步進式重復光刻機的工作原理是使塗有光刻膠的矽片與掩膜板對准並聚焦，通過一次性投影，在晶圓片上刻畫電路。
▲尼康1980年推出的光刻機NSR-1010G
在這種背景下，荷蘭電子產品公司飛利浦在實驗室鼓搗出了步進式掃描光刻技術的雛型，但拿不準這項技術的商業價值。思前想後，它決定拉人入伙，讓合作者繼續研發，這樣既有人分攤成本，也給了自己觀望的機會。
步進式掃描光刻技術的原理是，光線透過掩膜板上的狹縫照射，晶圓與掩膜板相對移動。完成當前掃描後，晶圓由工作台承載，步進至下一步掃描位置，進行重復曝光。整個過程經過重復步進、多次掃描曝光。
▲步進式掃描光刻技術示意圖
在飛利浦的設想里，理想的合夥人當然是技術先進、實力雄厚的美國大廠，如IBM、GCA之流。但在美國走了一圈後，飛利浦意識到了現實的骨感：各大廠商紛紛表示拒絕。
但是，並非所有人都不看好飛利浦的光刻項目，就在飛利浦碰壁之際，荷蘭小公司ASMI（ASM International，直譯為ASM國際）的老闆Arthur Del Prado跑來，自薦要接下飛利浦的光刻項目。
▲Arthur Del Prado
ASM International創立於1964年，是一家半導體設備代理商，對製造光刻機並無經驗。因此，飛利浦猶豫了1年的時間。最終，1984年，飛利浦選擇「屈就」，同意與ASMI公司各自出資210萬美元，合資成立阿斯麥，由這才開啟了阿斯麥的故事。
阿斯麥首任CEO為Gjalt Smit，任職時間為1984～1988年。據稱，由於阿斯麥成立初期知名度較低，Gjalt Smit曾在未經授權的情況下在阿斯麥招聘廣告中使用飛利浦的標志。
▲阿斯麥創始初期CEO Gjalt Smit
2013年至今，阿斯麥總裁兼CEO由Peter Wennink擔任。Peter Wennink早在1999年就加入了阿斯麥，曾擔任過執行副總裁、首席財務官等職。在加入阿斯麥之前，Peter就職於全球四大會計師事務所之一的德勤會計師事務所。
▲現任阿斯麥總裁兼CEO Peter Wennink
其實，在與飛利浦合資成立阿斯麥之前約10年的1975年，ASMI就曾在香港開設辦公室。最初，ASMI香港辦公室只負責銷售，隨著時間推移，該辦公室發展出了生產能力。1988年，ASMI在香港辦公室的基礎上成立了新公司ASMPT（ASM PACIFIC Technology，直譯為ASM太平洋技術）。到今天，ASMPT已成長為全球最大的半導體組裝和封裝技術供應商之一。
作為站在阿斯麥、ASMI、ASMPT背後的操盤手，Arthur Del Prado成為一代業界傳奇，被譽為「歐洲半導體設備行業之父」。2016年，這位傳奇人物以85歲高齡逝世，但與他淵源頗深的三家半導體公司仍在創造新故事。Arthur的長子Chuck Del Prado，於2008年接替Arthur繼任為ASMI CEO，並於2019年退休。ASMI現任CEO是Benjamin Loh。ASMPT現任CEO是Robin Ng。
回到阿斯麥的故事，飛利浦同意出資210萬美元成立阿斯麥，但拒絕提供更多資金和辦公場地。成立之初的阿斯麥只有31名員工，由於沒有辦公室，這31名員工就窩在飛利浦大廈外的簡易木板房裡辦公。當時， 飛利浦絕不會想到，這個幾乎被當作「棄子」的項目和退而求其次選擇的小公司，孕育出的是能把尼康拉下馬的光刻機新星。
▲垃圾車後面就是阿斯麥成立之初的簡易木板屋，其後的大廈是飛利浦大廈
如前所說，20世紀80年代還是光刻機的技術紅利期。在乾式微影技術的技術路線下，阿斯麥成立的第一年就造出了步進式掃描光刻機PAS 2000。 但是，技術的紅利期很快就會過去，之後發生的一切會造就光刻機市場的新格局。
▲阿斯麥於1984年推出的PAS 2000
進入21世紀，為了延續摩爾定律，人們改進了晶體管架構方式，但光刻機光源波長卡在了193nm上。這造成的後果是光刻「畫」出的線條不夠細致，阻礙晶體管架構的實現。要解決這個問題，最直接的方式就是把光源波長縮短，比如尼康、SVG等廠商試圖採用157nm波長的光線。
實踐中，實現157nm波長的光刻機並不容易。首先，157nm波長的光線極易被193nm光刻機使用的鏡片吸收；其次，光刻膠也要重新研發；另外，相比於193nm波長，157nm波長進步不到25%，回報率較低。但在當時，這似乎是唯一的辦法。
到了2002年，時任台積電研發副經理林本堅提出：為什麼非要改變波長？在鏡頭和光刻膠之間加一層光線折射率更好的介質不就行了？那麼什麼介質能增加光的折射率呢？林本堅說，水就可以。與乾式光刻技術相對，林本堅的技術方案被稱為浸沒式光刻技術。經過水的折射，光線波長可以由193nm變為132nm。
時間再往回推15年（1987年），林本堅就職於IBM，那時他就有了浸沒式光刻技術的想法。2002年晶元製程卡在65nm之際，林本堅看到了浸沒式光刻技術的機會。為了解決技術難題、消除廠商疑慮，林本堅花費半年時間帶領團隊發表3篇論文。
當時，業界質疑水作為一種清潔劑，會把鏡頭上的臟東西洗出來，還有人擔憂水中的氣泡、光線明暗等因素會影響折射效果。根據林本堅團隊的研究，他們提出了一種曝光機，可以保持水的潔凈度和溫度，使水不起氣泡。雖然這種曝光機並未在實際中被採用，但林本堅的研究證明了技術上的難題是可以被解決的。
他還親自奔赴美國、日本、德國、荷蘭等地，向光刻機廠商介紹浸沒式光刻的想法。但是，有能力進行研發的大廠普遍不買賬。
▲林本堅
個中原因也不難理解，自20世紀60年代起，玩家入局光刻機市場，在乾式光刻技術上投入了大量財力、人力、物力，好不容易踏出一條可行的技術路線。如果按照林本堅「加水」的想法，各位前輩就得「一夜回到解放前」，從技術到設備重新 探索 。很少有人捨得這么高的沉沒成本。但是，「很少有人」不代表「沒有人」。
奔波到荷蘭後，林本堅終於聽到了一個好消息： 阿斯麥願做這第一個吃螃蟹的勇士 。2003年10月份，ASML和台積電研發出首台浸沒式光刻設備——TWINSCAN XT：1150i。2004年，阿斯麥的浸沒式光刻機改進成熟。同年，尼康宣布了157nm的乾式光刻機和電子束投射產品樣機。
但是，一面是改進成熟的132nm波長新技術，一面是157nm波長的樣機，勝負不言而喻。
數據顯示，在2000年之前的16年裡，ASML占據的市場份額不足10%。2000年後，阿斯麥市場份額不斷攀升。 到2007年，阿斯麥市場份額已經超過尼康，達到約60%。
當命運之神把浸沒式光刻微影的機遇擺放到阿斯麥、尼康等玩家面前，只有阿斯麥勇敢地伸出手，而尼康則是成也乾式微影、敗也乾式微影。 在全球光刻機市場這一回合的較量中，阿斯麥選擇了正確的技術路線，從而贏得了後來居上的機會。
▲首台浸沒式光刻設備——TWINSCAN XT：1150i
如果說推出浸沒式光刻機讓阿斯麥領先尼康一步，那麼突破EUV光刻技術則讓它成為了名副其實的光刻機一哥。2010年至今，EUV光刻市場中只有阿斯麥一位玩家。
突破10nm節點能夠帶來的經濟效益不必贅述，在眾多玩家中，為什麼只有阿斯麥掌握了EUV光刻機的核心技術？實際上，這與它集合了美國、歐洲的頂級科研力量有關。 這段故事還要從1997年講起。
1997年，英特爾認識到跨越193nm波長的困難，渴望通過EUV來另闢蹊徑。為了能從其他玩家處借力，英特爾說服了美國政府，二者一起組建了一個名為「EUV LLC（The Extreme Ultraviolet Limited Liability Company，極紫外線有限責任公司）」的組織。EUV LLC里可謂是群英薈萃，商業力量有摩托羅拉、AMD、英特爾等，還匯集了美國三大國家實驗室。
EUV LLC里，美國成員構成了主體。在對外國成員的選擇上，英特爾和白宮產生了分歧。英特爾看中阿斯麥和尼康在光刻機領域的經驗，想拉他們入伙。但白宮認為如此重要的先進技術研發不該邀「外人」入局。
此時，阿斯麥顯示出了驚人的前瞻能力，它向美國表示：我願意出資在美國建工廠和研發中心，並保證55%的原材料都從美國采購，只求你們研究EUV一定要帶我玩。
如此誠意讓美國難以拒絕，就這樣，阿斯麥成為EUV LLC里唯二的兩家非美國公司之一，另一家是德國公司英飛凌。
反觀尼康，這一次則完全是吃了國籍的虧。1998年發表的文件《合作研發協議和半導體技術：涉及DOE-Intel CRADA的事宜》，寫明了尼康被排除在EUV LLC外的終極原因：「……有人擔心尼康會成功將技術轉移到日本，從而消滅美國的光刻工業。」
1997年到～2003年，阿斯麥和世界頂級的半導體領域玩家聚集在EUV LLC，用了6年時間回答一個問題：EUV有可能實現嗎？他們發現答案是肯定的。至此，EUV LLC使命完成，在2003年就地解散，其中各個成員踏上獨自研發之路。
其實，其他歐洲、日本、韓國的玩家也曾 探索 過EUV光刻技術。但是，他們的實力始終無法與匯集了美國頂級科研實力的EUV LLC相比，這意味著阿斯麥在EUV研發之路上佔得先機。國際光電工程學會（SPIE）官網寫出了EUV LLC的重要性：「如果不是EUV LLC對技術的形成和追求，EUV光刻技術就不會成為IC製造領域的未來競爭者。」
6年時間里，EUV LLC證明了用極紫外線作為光源造光刻機是可行的，但卻沒指出一條明路。到了2005年，EUV光刻機還是連個影子都沒有，但巨額的研發資金、難以跨越的技術瓶頸已經足以讓大多數玩家望而卻步。但是，阿斯麥還是不肯死心，並且決定要牽頭歐洲的EUV研發項目。 如果說在EUV LLC中，阿斯麥是蜷縮在角落裡等待被其他大玩家「帶飛」，那這一次，阿斯麥則是要自己做領頭雁。
研發過程面臨的困難無非集中在資金和技術兩方面，阿斯麥把它們逐個擊破。缺錢？那就去找，阿斯麥從歐盟第六框架研發計劃中拉來2325萬歐元經費。缺技術？阿斯麥集合3所大學、10個研究所、15個公司聯合開展了「More Moore」項目，著力攻堅。
終於，2010年，阿斯麥出貨了首台EUV光刻機。這台光刻機型號為NXE：3100，被交付給台積電，用於進行研發。
至此，在EUV市場，阿斯麥已經做到了人無我有，接下來的問題就是產品的迭代和進化。2013年，阿斯麥收購了光源提供商Cymer，為公司量產EUV設備打基礎。經過幾次升級，阿斯麥在2016年推出首台可量產的EUV光刻機NXE：3400B並獲得訂單。NXE：3400B售價約為1.2億美元，從2017年第二季度起開始出貨。直到今天，產品的迭代還在繼續。根據阿斯麥的信息，EXE：5000系列光刻機樣機最快在2021年問世。
從1997年到2010年，13年的艱難求索，終於讓阿斯麥攻克了EUV的技術高地。辛勤付出終有回報， 目前，阿斯麥仍是唯一掌握EUV光刻技術的廠商。
▲阿斯麥的最新EUV光刻機TWINSCAN NXE：3400C
根據公開信息，一台EUV光刻機售價約為1.2億美元，一台DUV光刻機的售價也要數千萬美元。在高額售價的背後，是前期研發階段巨量的資金投入。要支撐對光刻技術的研發，阿斯麥必須找到一條可持續的「財路」，否則就可能陷入困境。
事實上，阿斯麥也的確經歷過「財政危機」。1988年，阿斯麥進軍台灣市場，還未來得及在新的市場競爭中喘口氣，老東家ASMI就因無法獲得預期內的回報比作出撤資決定。同時，由於當時全球電子行業市場不樂觀，飛利浦也宣布了一項成本削減計劃。內外夾擊之下，阿斯麥幾近破產。好在危機時刻，時任阿斯麥CEO Gjalt Smit聯系了飛利浦董事會成員Henk Bodt，後者說服了飛利浦董事會，為阿斯麥拉來一筆約1億美元的「救命錢」。
這筆資金幫助阿斯麥在進軍台灣市場的初期站穩了腳。隨後幾年，阿斯麥憑借步進式掃描光刻機扭虧為盈，並於1995年3月15日在阿姆斯特丹和紐約證券交易所成功上市，上市首日市值為約1.25億美元。
▲Henk Bodt
為了能夠獲得充足的資金支持，2012年，阿斯麥提出一項 「客戶聯合投資計劃」（CCIP，Customer Co-Investment Program） ，簡單來說，就是接受客戶的注資，客戶成為股東的同時擁有優先訂貨權。這無疑是一個雙贏的舉措：把阿斯麥的研發資金壓力轉移出去，讓客戶為先進光刻技術的研發買單，這樣不僅使阿斯麥無後顧之憂地進行研發，也保證了客戶對先進光刻技術的優先使用權。
2012年，晶元製造行業3大龍頭英特爾、台積電、三星都推出了22nm晶元產品。CCIP計劃一經推出，這3家公司紛紛響應。根據協議，英特爾斥資41億美元收購荷蘭晶元設備製造商阿斯麥公司的15%股權，另出資10億美元，支持阿斯麥加快開發成本高昂的晶元製造 科技 。台積電投資8.38億歐元，獲取阿斯麥公司約5%股權。三星斥資5.03億歐元購得3%股權，並額外注資2.75億歐元合作研發新技術。
最終，阿斯麥以23%的股權共籌得53億歐元資金。要知道，2012年全年，阿斯麥的凈銷售額才約為47.3億歐元。
在 科技 圈，研發、創新能力就是生命力。華為5G、晶元技術為什麼強？任正非曾在接受采訪時表示，2020年華為將把約200億美元（約合人民幣1420億元）花在研發上。而在研發方面，阿斯麥與華為一樣「瘋狂」。
早在2002年，阿斯麥就敢向浸沒式光刻技術押注。到了今天，大力投資搞技術研發已經成為阿斯麥的傳統。
根據2019年度財報， 阿斯麥全年投入了20億歐元用於技術研發，佔到凈銷售額（118.2億歐元）的16.9% 。相比之下，2019年尼康在光刻系統上的投資為3.98億日元，佔到光刻系統營收（2397.28億日元）的約0.17%。
2007年開始，「時年」13歲的阿斯麥開始以領先的姿態傲然於光刻機市場，至今仍然如此。列出阿斯麥近些年的研發投入，或能解釋它這么多年來屹立不倒的原因。
▲近5年阿斯麥研發投入及營收情況
另外，在專利網站Patentscope上的搜索結果顯示， 阿斯麥申請的專利數目已經達到14444項 。阿斯麥雖然是一家商業公司，但支撐它走得更遠的，不是對金錢的追求，而是對技術的長遠投資。
回顧過去36年，阿斯麥從一個蜷縮在木板房中的小公司成長為一代光刻機巨擘，其中原因少不了 歷史 的機遇，如林本堅適時提出了浸沒式光刻技術的想法。但是，更具決定性意義的是阿斯麥准確的前瞻和果斷的選擇，比如，在21世紀初，阿斯麥放棄乾式微影，轉投浸沒式光刻技術；再比如，早在1997年，阿斯麥以自身妥協換來EUV LLC的入場券。對於商業與技術相互促進的關系，阿斯麥還有著深刻的理解，多年來對技術研發的大力投入，成為它屹立不倒的重要原因。手握頂尖的技術，阿斯麥還獲得了客戶的支持，從而在全球光刻機市場中走得更遠。
以阿斯麥這36年的歷程為鑒，對比我國。1977年，我國第一台光刻機誕生，加工晶片直徑為75毫米。今天，國產光刻機製造商有上海微電子、中科院光電所等，最先進的設備推進至22nm節點，而國際最先進工藝已突破5nm節點。國產光刻機無疑還有很長的路要走。
晶元是「中國製造」的痛點。不論是近期華為被美國斷供晶元的新聞，還是兩會政府工作報告中「國產化」「功率半導體」「感測器晶元」等話題被一再提及，背後的事實都讓人黯然：我們曾在一窮二白的條件下造出原子彈，但在GDP總量近100萬億人民幣的今天，中國還是難以獨立造「芯」。在種種困難中，光刻技術直接卡住了晶元製造的「脖子」。
要解決這一問題，技術攻關當然是必不可少的。另外，借力國外成熟產品或可幫助晶元製造商實現突破。2018年，我國晶元公司中芯國際花費約1.2億美元，向阿斯麥訂購了一台EUV光刻機。由於種種原因，目前，這台光刻機還未成功交付。我們期待它能夠盡快落地中國，助力我國的晶元事業再上一個台階。中國有市場、有人才，也不缺恆心與毅力，相信我國光刻機事業會有光明的未來。
參考文獻：
1、《曾經的光刻機霸主：尼康營收暴減九成，裁員 700 人》EE Times China
2、《全球半導體設備龍頭專題（一）》安信證券
3、《阿斯麥封神記：這家荷蘭公司，扼住了全球半導體晶元的咽喉》魔鐵的世界
4、《光刻機的發展與荷蘭ASML公司的故事》光纖在線
5、《做成那不可能之夢：低調華人科學家顛覆技術 影響人類》知識分子
6、《More Moore」 Shows European EUV Innovation at EUV 2006 in Barcelona》CORDIS
❿ 中芯國際與阿斯麥簽訂購買單，這能解決晶元短缺問題嗎
中芯國際與阿斯麥簽訂購買單，這可以暫時緩解我國晶元短缺的問題，但是不可以解決我國的晶元問題跡御，我國晶元短缺問題還是需要我們自己來攻克。
從2018年開始，美國就對我國的晶元行業做出一些限制。2018年美國下令禁止美國公司向中興、華為等公司提供晶元，雖然華為的海思可以構造晶元，但是我國的晶元製造還是存在著很大的短板，就在這種背景下，我國的各種行業都被美國限制的很難受。特別是晶元行業，我國晶元行業發展較晚，在這次與美國的科技戰中也是顯示出不足，但是我國以中芯國際為首的晶元公司也在努力發展，積極的攻克多種難題，並且也研製出原子刻制技術，可以繞過光刻機製造晶元。
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